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滿(mǎn)足計(jì)量檢測(cè)用戶(hù)更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機(jī)用激光干涉測(cè)量系統(tǒng)為基礎(chǔ)， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時(shí)， 將光源和測(cè)量信號(hào)接收處理單元集成在主機(jī)里， 一體化設(shè)計(jì)為用戶(hù)提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn)；[詳情]