1、直線性測(cè)量。

在激光干涉直線度測(cè)量中，采用兩組透鏡：測(cè)量距離從0.1m到4m，測(cè)量距離從1m到30m。至于軸長(zhǎng)，距離是指直線度干涉鏡與直線度反射鏡之間的距離，即測(cè)軸長(zhǎng)。對(duì)于長(zhǎng)時(shí)間來(lái)說(shuō)，距離指的是激光頭與直線度鏡之間的距離。同時(shí)，激光干涉儀直線度測(cè)量范圍均為±2.5mm。直線性的干涉鏡與反射器是相互配合的。所以，不可與其他直線工具交換要件。每個(gè)直線干涉鏡和反光鏡都標(biāo)出了獨(dú)立的序數(shù)。

①沿著水平軸直線度測(cè)量。

橫向軸線直線度檢測(cè)，在激光干涉儀的激光器與直角反射鏡之間安裝直線度干涉鏡。從激光射出的光束經(jīng)過(guò)一條直線度的干涉鏡，這段光束會(huì)被分為兩個(gè)同頻率的光源，經(jīng)過(guò)一條直線反射鏡，將兩束激光反射匯聚到干涉鏡上，然后再返回。轉(zhuǎn)動(dòng)直線度反射鏡，同一光源的兩束光線都會(huì)發(fā)生干涉。激光將探測(cè)出干涉光波，以判斷直線度干涉鏡運(yùn)動(dòng)的方向，產(chǎn)生多大的偏差。將偏差值記錄下來(lái)，用于設(shè)備的安裝、調(diào)試。

②垂直軸線上的直線度測(cè)量。

豎直軸直線度檢測(cè)，引入垂直式轉(zhuǎn)向鏡，將激光干涉儀水平光束轉(zhuǎn)化為垂直光束，其檢測(cè)原理與橫軸直線度檢測(cè)相同。

2、線性測(cè)量。

利用激光干涉線性測(cè)量技術(shù)對(duì)機(jī)床軸系進(jìn)行多種精度檢測(cè)，包括定位精度、重復(fù)定位精度、反差等。用來(lái)進(jìn)行線形測(cè)量的鏡組有兩條線性鏡和一條直線光譜儀。

激光器干涉儀要進(jìn)行線性測(cè)量，用兩個(gè)緊螺紋的分光鏡連接一個(gè)線性鏡。這一結(jié)合要件稱為“線性干涉鏡”，可用作激光光束的參考路徑。在激光和線反射鏡之間形成一條直線干涉光通道，激光光束可以射入線性干涉鏡，然后被分成兩個(gè)光束。一條光(稱為參考光)射到連接分光鏡的反射鏡，而第二道光(測(cè)量光)則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡。二道光束再反射回分光鏡，再匯聚后再回到激光頭，其中一個(gè)探測(cè)器將監(jiān)測(cè)兩道光束之間的干涉。