鐳測科技“雙折射雙頻激光器及干涉儀的關鍵和全鏈條技術”入選2022中國十大光學產業技術
發布時間:2023-01-30瀏覽次數:837
激光干涉儀是當今納米時代的長度基準,也是先進制造業(機床、光刻機,航空、航天等)制造精度的保證。激光干涉儀的“激光”是HeNe激光器。鐳測科技研究成了“可伐-玻璃組裝式”結構的HeNe激光器,打破了我國靠玻璃吹制HeNe激光器的歷史。這一長期堅持的研究打通了單頻氦氖激光器→雙折射雙頻激光器→雙頻激光干涉儀的全技術鏈條,批產,獲得了廣泛認可。雙頻激光器和干涉儀已在北京鐳測科技有限公司批產,并在國內外得到廣泛應用。
雙折射雙頻激光器不僅用于國產雙頻激光干涉儀,也用于運行中的光刻機的年度替換。同時,提供了科研單位的科學研究。該激光器替換進口正在服役的光刻機的原有激光器,使光刻機機臺誤差由24 nm下降到6 nm。中國計量科學院測試表明,此雙頻激光干涉儀測量70 m長度誤差小于5 μm,非線性誤差小于1 nm。
來源:光電匯OESHOW https://mp.weixin.qq.com/s/N6JePRN_Uz-oDtxX0GfNRw
- 2024-01-11
喜報|連中三元!熱烈祝賀鐳測科技通過‘高… - 2022-12-19
40年堅持,打通雙折射雙頻激光器及干涉儀全… - 2022-12-05
鐳測科技研制成功并批產可伐-玻璃組裝式(無… - 2022-09-22
鐳測科技創始人張書練教授榮獲“2021年度科… - 2021-11-19
鐳測科技創始人張書練教授當選美國光學學會… - 2021-10-12
潛心激光器納米測量40年,冷門中做出系列“… - 2021-07-09
3分鐘了解激光干涉儀——高精密的尺子 - 2021-03-03
突破!我國雙折射雙頻激光干涉儀實現批量生… - 2020-04-26
鐳測科技LH3000雙頻激光干涉儀助力我國新一… - 2018-12-07
張書練教授獲ISMTII-2017國際學術會議終身…
管理員
該內容暫無評論