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雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù)，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個根本弱點(diǎn)。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時，這一缺點(diǎn)十分突出，而雙頻激光…[詳情]

鐳測科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測量技術(shù)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)的高效率量測工具。 系統(tǒng)組成…[詳情]

1、直線度測量原理 雙頻激光測頭輸出光經(jīng)過直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進(jìn)行干涉測量。通過檢測光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對于激…[詳情]

1、垂直度測量原理 垂直度測量的主要采用同一個測量基準(zhǔn)軸對兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)中的每一個軸測量直線度。對兩個直線度測量值進(jìn)行比較，算出兩個軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測量直線度之間既不移動也不調(diào)整。兩次直線度測量過程中至少一…[詳情]

1、平行度測量原理 平行度測量由兩組直線度測量組成，兩次測量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個正交平面內(nèi)沿每個要被比較的軸測量直線度。因此，平行度或平行線測量實(shí)際是四次直線度測量，每次的步驟和方法同測量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

滿足計(jì)量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機(jī)用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時， 將光源和測量信號接收處理單元集成在主機(jī)里， 一體化設(shè)計(jì)為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗(yàn)；[詳情]