1、平行度測量原理
平行度測量由兩組直線度測量組成,兩次測量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準。需要說明的是,要得到兩軸的平行度,要在兩個正交平面內(nèi)沿每個要被比較的軸測量直線度。因此,平行度或平行線測量實際是四次直線度測量,每次的步驟和方法同測量直線度一樣,如下圖所示。
2、數(shù)據(jù)采集和處理
按照上面的分析,平行度測量分成正交平面內(nèi)的兩次直線度測量,在同一個面內(nèi)的測量分兩步:第一步測量其中一軸的直線度,其方法跟直線度測量一樣;第二步測量另一軸的直線度。每次測量后均把以共同反射鏡為參考基準所采集的直線度數(shù)據(jù)保存。最后根據(jù)上述四個直線度測量結(jié)果,計算得到兩軸之間的平行度或平行線誤差。
3、平行度測量用組件
平行度測量用到的激光干涉儀組件:
激光干涉儀測頭、測量附件、垂直度測量光學(xué)鏡組、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、垂直度測量應(yīng)用
數(shù)控機床/坐標測量機X、Y軸上多導(dǎo)軌平行度
兩導(dǎo)軌的平行度
回轉(zhuǎn)軸的平行度測量,確定旋轉(zhuǎn)軸線和直線軸之間的角度關(guān)系,對于車床尤為重要。
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