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1、重復(fù)定位精度測(cè)量原理重復(fù)定位精度測(cè)量主要用到干涉儀的線性測(cè)量，即對(duì)待測(cè)平移裝置的定位進(jìn)行多次測(cè)量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測(cè)量是激光干涉儀的基本測(cè)量，原理如圖所示。將一個(gè)角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個(gè)角錐反射鏡…[詳情]

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術(shù)，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化從而影響測(cè)量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個(gè)根本弱點(diǎn)。在測(cè)試環(huán)境惡劣或測(cè)量距離較長(zhǎng)時(shí)，這一缺點(diǎn)十分突出，而雙頻激光…[詳情]

1、平面度 平面測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上做的延伸，利用角度測(cè)量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對(duì)角線的方法測(cè)量出平臺(tái)上不同位置的高度變化值，就可以得到整個(gè)平臺(tái)的平面度。 [詳情]

1、角度測(cè)量原理 角度測(cè)量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個(gè)相對(duì)旋轉(zhuǎn)。相對(duì)旋轉(zhuǎn)后，會(huì)導(dǎo)致角度測(cè)量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會(huì)被激光干涉儀探測(cè)器探測(cè)出來(lái)，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來(lái)。激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)±1…[詳情]

鐳測(cè)科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測(cè)量技術(shù)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國(guó)外產(chǎn)品同等水平。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測(cè)，是高精度線性位移測(cè)量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)的高效率量測(cè)工具。 系統(tǒng)組成…[詳情]

1、直線度測(cè)量原理 雙頻激光測(cè)頭輸出光經(jīng)過(guò)直線度干涉鏡，按偏振態(tài)被分成兩束，以一定角度發(fā)散后入射到直線度反射鏡。光束從直線度反射鏡返回，沿新光路回到直線度干涉鏡后，合成一束回到光線接收端，進(jìn)行干涉測(cè)量。通過(guò)檢測(cè)光路與干涉鏡和反射鏡之間的橫向位移，就可以得到導(dǎo)軌相對(duì)于激…[詳情]

1、垂直度測(cè)量原理 垂直度測(cè)量的主要采用同一個(gè)測(cè)量基準(zhǔn)軸對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)中的每一個(gè)軸測(cè)量直線度。對(duì)兩個(gè)直線度測(cè)量值進(jìn)行比較，算出兩個(gè)軸之間的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)是直線度反射鏡的光學(xué)基準(zhǔn)軸。需要注意的是，兩次測(cè)量直線度之間既不移動(dòng)也不調(diào)整。兩次直線度測(cè)量過(guò)程中至少一…[詳情]

1、平行度測(cè)量原理 平行度測(cè)量由兩組直線度測(cè)量組成，兩次測(cè)量都以直線度反射鏡的光學(xué)軸為參考基準(zhǔn)。需要說(shuō)明的是，要得到兩軸的平行度，要在兩個(gè)正交平面內(nèi)沿每個(gè)要被比較的軸測(cè)量直線度。因此，平行度或平行線測(cè)量實(shí)際是四次直線度測(cè)量，每次的步驟和方法同測(cè)量直線度一樣，如下圖所示…[詳情]