1、角度測量原理

      角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實現(xiàn)±10°以內(nèi)的角度精密測量。

2、角度測量用組件

      角度測量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個相對旋轉(zhuǎn)。相對旋轉(zhuǎn)后，會導(dǎo)致角度測量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會被激光干涉儀探測器探測出來，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來。激光干涉儀角度鏡能實現(xiàn)±10°以內(nèi)的角度精密測量。

      角度測量用到的激光干涉儀組件：

      激光干涉儀測頭、角度測量光學鏡組、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。

3、角度測量應(yīng)用

     三坐標測量機校準

     傾斜工作臺 / 準直平臺測量（切片機/校正機等）

     XY工作臺的俯仰和扭擺評估（印刷電路板鉆床、LCD校正機等）